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半導体

半導体プロセス用途例 洗浄/循環/薬液補充


●FSポンプ使用例

図中製品
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コントローラ FDC-1ダンパー PD-H循環ポンプ FS

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●レビトロポンプ使用例

図中製品
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循環ポンプ LEV300

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半導体プロセス用途例 半導体
• 洗浄, 循環, 薬液補充
• 薬液供給
• フォトプロセス
• CMPプロセス

液晶/表面処理プロセス用途例 液晶/表面処理
• 液晶基盤洗浄液の循環流量一定制御
• 金メッキ液の流量一定制御
• エッチング液の噴霧圧一定制御

水処理/水質管理用途例 水処理/水質管理
• クーリングタワーの水質管理
• 飲料水2次滅菌
• プール滅菌
• 浴槽水滅菌

環境保全用途例 環境保全
• 下水処理
• し尿処理(1. 沈澱)
• し尿処理(2. 濃縮)
• し尿処理(3. 凝集)
• ごみ処理

化学プロセス用途例 化学
• 苛性ソーダ希釈システム
• 硫酸希釈システム

製紙/パルププロセス用途例 製紙/パルプ
• 化学パルプ製造プロセス
• 古紙再生プロセス

食品製造プロセス用途例 食品
• ビール製造プロセス
• マヨネーズ製造プロセス
• 濃縮ジュース希釈混合
• CIP洗浄プロセス
• パストライザー滅菌

遠隔監視用途例 遠隔監視
• 薬液自動補充支払設備
• クーリングタワーの薬注監視
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循環ポンプ FS ダンパー PD-H コントローラ FDC-1 循環ポンプ LEV300