再現性±0.3%（F.S.）以下の
高精度、コンパクト、低コスト。
フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R
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フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R
吐出量:5.0 mL/shot
PDS-105Rの特長
高精度
ステッピングモータ駆動により、再現性±0.3%（F.S.）以下を実現しました。
低コスト
主要部品を成型化して、コストが低減しました。
コンパクト
高さ：260mm（当社従来品：330mm）
幅：50mm（当社従来品：60mm）
コンタミフリー
半導体関連のレジストディスペンス用途において、摺動部・滞留部が無いため、液のゲル化を抑えます。
概略仕様（50/60Hz）
吐出量 | 5.0 mL/shot |
|---|---|
最高吐出速度 | 0.1～4.0 mL/sec |
吸込速度 | 0.1～3.0 mL/sec |
最高吐出圧力 | 0.15 MPa |
繰返し精度 | ±0.3%以下（F.S.） |
最高取扱い液粘度 | 100 mPa·s |
上記仕様は取扱い液の種類、その他の設置条件により異なる場合があります。詳しくはお問い合わせください。
