CFDの特長

ウエハー洗浄液の濃度管理に

優れた精度で必要最少量の薬液を正確に注入。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。濃度のオーバーシュートを抑え、洗浄液のコストダウンにも貢献します。

優れた耐食性

接液部品は全てフッ素樹脂(PTFE、PFA、PCTFE)で構成され、強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応します。
ポンプ外部は樹脂およびコーティング済みのボルトを使用しています。

安全設計

圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。
サイホン防止機構により、薬液の流出を防ぎます。
CFD-1T-Bは、ベローズ破損を検知するリークセンサを標準装備しています。

幅広い吐出量範囲

柔軟な設定が行える仕様で、幅広い吐出量範囲をカバーします。
工場出荷時はCFD-1T-B:1mL/shot、CFD-8T-B:8ml/shotに設定されています。

概略仕様

型式 CFD-1T-B CFD-8T-B
最大吐出量 1mL/shot注1 8mL/shot注2
供給エアー圧力 0.15~0.3MPa
最大エアー消費量 2.5NL/min 5.4NL/min
最大ストローク数 30spm
主要材質 PTFE、PFA、PCTFE
液温範囲 20〜60℃

注1:工場出荷時の設定です。吐出量は0.4 〜2.7mL/shotの範囲で変更できます。
注2:工場出荷時の設定です。吐出量は7 〜10mL/shotの範囲で変更できます。

製品に関する情報

カタログ、資料ダウンロード

製品資料データ、カタログ、取扱説明書を会員サイトからダウンロードできます。

イワキのサポート
よくあるご質問、各種お問い合わせ、製品メンテンナンス動画など、イワキ製品のサポートについてご紹介します。