FS-100HT2の特長

高温大流量移送

Max. 180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。CARO(SPM)やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上(55L/min→100L/min)が見込めます。

洗浄効率の向上

循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の 除去効率が向上し、回路パターンの微細化による洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを 施すなど、金属露出のない設計です。半導体用途で使用される酸、アルカリ、 過水等の薬液移送が可能です。

重量低減で作業者負担を軽減

部品形状を最適化することにより、当社従来製品(80 〜100L/min クラス)の 重量に対して、約15%の重量低減を可能としました。 ポンプ設置、交換時の作業者負担を軽減できます。

近接スイッチ方式

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。 また、リークセンサを標準装備しています。

簡単操作

専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

概略仕様

最大吐出量 100L/min
供給エアー圧力範囲 0.15〜0.5MPa
最大エアー消費量 1210NL/min
最大ストローク数 120spm
主要材質 PTFE、PFA
液温範囲 10〜180˚C

• 最大吐出量は清水20℃の場合による性能です。

製品に関する情報

カタログ、資料ダウンロード

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イワキのサポート
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