フッ素樹脂製エアー駆動ダイヤフラムポンプ YD-TTシリーズ

最大吐出量範囲:11~95 L/min

半導体専用設計エアー駆動式ダイヤフラムポンプ


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YD-TTシリーズの特長

ノンメタルタイプをラインアップ

標準タイプのYD-TTD型に加え、ノンメタルタイプのYD- TTDN型とTTN型が新たにラインアップされました。接液部はもちろんのこと、エアー室内にも金属部品は一切使用しておらず、センターディスクレスのワンピースダイヤフラム (PAT. PEND.) を採用していますので、ダイヤフラムが破損しても金属汚染を最小限に抑えるとともに、切替機構部の腐食もありません。 また、YD-TTN型はポンプ室を本体内側に配置した「内側接液構造」。マニホールドがありませんので、YD-TTDN型に比べ全高が低く、装置組込みに適しています。 さらにTTN・P・H型は一切の金属部品を使用していない完全ノンメタルタイプです。

ハードシール(PAT.)で増締め不要

ダイヤフラムの締付けにハードシール方式を採用することで、シール性が大幅に向上しました。周囲温度や液温の変動があっても液漏れの心配がなく、増締めも不要です。
(YD-TTDN・PH型、TTDN・EFH型、TTN・PH型に採用)

 

多彩なエアー切替機構

標準タイプのエアー切替機構は、SUSスプール式と静電容量型 (電気式) があります。また、ノンメタルタイプには樹脂スプール式と光ファイバー型の電気式を用意しました。

完全自吸式

完全自吸式ですから呼び水は不要です。また、エアー混入液の取扱いも可能です。

概要・仕様

タイプ

標準タイプ

ノンメタルタイプ

内側接液タイプ

高温タイプ

最大吐出量範囲

11~95 L/min

20~70 L/min

24 L/min

11~12 L/min

最高吐出圧力

0.7 MPa

0.5 MPa

0.5 MPa

0.5 MPa

最大空気消費量

1500 NL/min

1000 NL/min

370 NL/min

300 NL/min

供給空気圧力

0.2~0.7 MPa

0.2~0.5 MPa

0.2~0.5 MPa

0.2~0.5 MPa

主要材質

PTFE

PTFE

PTFE

PFA/PTFE

液温範囲

0~80℃

0~80℃

0~80℃

 0~150℃

粘性液

2500 mPa·s以下

2500 mPa·s以下

2000 mPa·s以下

2000 mPa·s以下

シール方式

シールレス

 シールレス

シールレス

シールレス


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