フッ素樹脂製エアー駆動ダイヤフラムポンプ YD-TTシリーズ
最大吐出量範囲:11~95 L/min
半導体専用設計エアー駆動式ダイヤフラムポンプ




ノンメタルタイプをラインアップ
標準タイプのYD-TTD型に加え、ノンメタルタイプのYD- TTDN型とTTN型が新たにラインアップされました。接液部はもちろんのこと、エアー室内にも金属部品は一切使用しておらず、センターディスクレスのワンピースダイヤフラム (PAT. PEND.) を採用していますので、ダイヤフラムが破損しても金属汚染を最小限に抑えるとともに、切替機構部の腐食もありません。 また、YD-TTN型はポンプ室を本体内側に配置した「内側接液構造」。マニホールドがありませんので、YD-TTDN型に比べ全高が低く、装置組込みに適しています。 さらにTTN・P・H型は一切の金属部品を使用していない完全ノンメタルタイプです。
ハードシール(PAT.)で増締め不要
ダイヤフラムの締付けにハードシール方式を採用することで、シール性が大幅に向上しました。周囲温度や液温の変動があっても液漏れの心配がなく、増締めも不要です。
(YD-TTDN・PH型、TTDN・EFH型、TTN・PH型に採用)
多彩なエアー切替機構
標準タイプのエアー切替機構は、SUSスプール式と静電容量型 (電気式) があります。また、ノンメタルタイプには樹脂スプール式と光ファイバー型の電気式を用意しました。
完全自吸式
完全自吸式ですから呼び水は不要です。また、エアー混入液の取扱いも可能です。
概要・仕様
タイプ | 標準タイプ | ノンメタルタイプ | 内側接液タイプ | 高温タイプ |
|---|---|---|---|---|
最大吐出量範囲 | 11~95 L/min | 20~70 L/min | 24 L/min | 11~12 L/min |
最高吐出圧力 | 0.7 MPa | 0.5 MPa | 0.5 MPa | 0.5 MPa |
最大空気消費量 | 1500 NL/min | 1000 NL/min | 370 NL/min | 300 NL/min |
供給空気圧力 | 0.2~0.7 MPa | 0.2~0.5 MPa | 0.2~0.5 MPa | 0.2~0.5 MPa |
主要材質 | PTFE | PTFE | PTFE | PFA/PTFE |
液温範囲 | 0~80℃ | 0~80℃ | 0~80℃ | 0~150℃ |
粘性液 | 2500 mPa·s以下 | 2500 mPa·s以下 | 2000 mPa·s以下 | 2000 mPa·s以下 |
| シール方式 | シールレス | シールレス | シールレス | シールレス |












