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エアー駆動ポンプ, 半導体用ポンプ

高速ストローク化で
小型・軽量・ローコスト化を実現

エアー駆動ベローズポンプ FSシリーズ

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エアー駆動ベローズポンプ FS高速ストローク
ポンプストロークの高速化(Max. 240 spm)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。

コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど金属露出のない設計です。また、独自開発のシャフトシール (PAT.) の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

幅広い液温範囲・高圧吐出
液温範囲は5〜180℃、吐出圧力はMax. 0.45 MPaまで可能なため、洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスでも使用可能です。

概略仕様
 最大吐出量 55 L/min
 最高供給エアー圧力 0.5 MPa
 最大エアー消費量 670 NL/min
 最大ストローク数  200 spm
 主要材質 PTFE, PFA
 液温範囲 5〜180℃
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