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製品情報＞エアー駆動ポンプ, 半導体用ポンプ＞FS-Nシリーズ
エアー駆動ポンプ, 半導体用ポンプ

Max. 100 L/min
薬液供給用の大流量モデル

エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ

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エアー駆動ベローズポンプ FS-100N
FS-100NF


エアー駆動ベローズポンプ FS-80N
FS-80NT		 高速ストローク
ポンプストロークの高速化（Max.200spm：FS-80N）により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。

コンタミフリー設計
接液部にすべてフッ素樹脂を採用したコンタミフリー設計。また、弊社独自のシャフトシールの採用で（特許：FS-80N）、パーティクルの発生が少なくなっています。

大流量/高圧吐出
供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。

センサ駆動方式
ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。確実に作動するため、各種コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。
概略仕様
 最大吐出量  100 L/min
 最高供給エアー圧力  0.7 MPa
 最大エアー消費量  1495 NL/min
 最大ストローク数  200 spm (FS-80N)
 主要材質 PTFE, PFA
 液温範囲  5〜60℃
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