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エアー駆動ベローズポンプ FSシリーズ
高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現
最大吐出量: 55 L/min
最高供給エアー圧力: 0.5 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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 | エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ
Max. 100L/min、薬液供給用の大流量モデル
最大吐出量: 100 L/min
最高供給エアー圧力: 0.7 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ
肉厚ベローズで高圧・長寿命
最大吐出量: 80 L/min (FW), 40 L/min (FW-H)
最高供給エアー圧力: 0.5 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ FF/FF-Hシリーズ
空気消費量の少ない省エネ設計
最大吐出量: 22 L/min (FF), 40 L/min (FF-H)
最高供給エアー圧力: 0.3 MPa (FF), 0.2 MPa (FF-H)
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
中温液用エアー駆動ベローズポンプ
最大吐出量: 40 L/min
最高供給エアー圧力: 0.4 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ
CFD
高精度薬液補充ポンプ
最大吐出量: 8 mL/ストローク
最高吐出圧力: 0.05 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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ダンパー PD-H, PDA-W
Fシリーズ用ダンパー
最高封入エアー圧力: 0.3 MPa (PD-H), 0.5 MPa (PDA-W)
脈動圧力幅: 0.04 MPa以内 (PD-H), 0.06 MPa以内 (PDA-W)
主要材質: PTFE, PFA |
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コントローラ/ドライバー FDC, SC, AC, FD
Fシリーズ用コントローラ＆ドライバー
高機能コントローラ
ローコストコントローラ
ドライバー |
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フォトレジストディスペンスポンプ PDS シリーズ
省レジストを実現するディスペンスシステム
最大吐出量: 5 mL/shot
最高吐出圧力: 0.15 MPa
主要材質: PFA, PTFE, EPDM |
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エアー駆動ダイヤフラムポンプ YDシリーズ
多目的に使えるエアー駆動式ダイヤフラムポンプ
最大吐出量: 840 L/min
最高吐出圧力: 0.7 MPa
主要材質: SCS14, GFRPP, 他 |
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フッ素樹脂製エアー駆動ダイヤフラムポンプ YD-TTシリーズ
半導体専用設計エアー駆動式ダイヤフラムポンプ
最大吐出量: 95 L/min
最高吐出圧力: 0.7 MPa
主要材質: PTFE |
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エアー駆動ピストンポンプ YSPシリーズ
ドラム缶、ペール缶からの引き抜き・圧送に
最大吐出量: 37.6 L/min
最高吐出圧力: 2.1 MPa
主要材質: ステンレス, FKM, PTFE |
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