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エアー駆動低脈動ベローズポンプ PULSERASER FLP-60 ［近日発売］
吸込み側の脈動を増やすことなく、ポンプ単体で低脈動吐出を実現
供給エアー圧力範囲: 0.2〜0.5 MPa
最高液温範囲: 50〜180℃
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ FSシリーズ
高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現
最大吐出量: 55 L/min
最高供給エアー圧力: 0.5 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 ［近日発売］
高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現
最大吐出量: 100 L/min
最高液温範囲: 100〜180℃
主要材質: PTFE, PFA |
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 | エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ
Max. 100L/min、薬液供給用の大流量モデル
最大吐出量: 100 L/min
最高供給エアー圧力: 0.7 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ FW, FW-Hシリーズ
肉厚ベローズで高圧・長寿命
最大吐出量: 80 L/min (FW), 40 L/min (FW-H)
最高供給エアー圧力: 0.5 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ FF, FF-Hシリーズ
空気消費量の少ない省エネ設計
最大吐出量: 22 L/min (FF), 40 L/min (FF-H)
最高供給エアー圧力: 0.3 MPa (FF), 0.2 MPa (FF-H)
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
中温液用エアー駆動ベローズポンプ
最大吐出量: 40 L/min
最高供給エアー圧力: 0.4 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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エアー駆動ベローズポンプ
CFD
高精度薬液補充ポンプ
最大吐出量: 1 mL/shot
最高吐出圧力: 0.05 MPa
主要材質: PTFE, PFA |
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ダンパー PD-H, PDA-W
Fシリーズ用ダンパー
最高封入エアー圧力: 0.3 MPa (PD-H), 0.5 MPa (PDA-W)
脈動圧力幅: 0.04 MPa以内 (PD-H), 0.06 MPa以内 (PDA-W)
主要材質: PTFE, PFA |
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コントローラ/ドライバー FDC, SC, FD
Fシリーズ用コントローラ＆ドライバー
高機能コントローラ
ローコストコントローラ
ドライバー |
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エアー駆動ダイヤフラムポンプ YDシリーズ
多目的に使えるエアー駆動式ダイヤフラムポンプ
最大吐出量: 840 L/min
最高吐出圧力: 0.7 MPa
主要材質: SCS14, GFRPP, 他 |
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フッ素樹脂製エアー駆動ダイヤフラムポンプ YD-TTシリーズ
半導体専用設計エアー駆動式ダイヤフラムポンプ
最大吐出量: 95 L/min
最高吐出圧力: 0.7 MPa
主要材質: PTFE |
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高粘度液ディスペンスポンプ PDS-H115
LED、MEMSなどの高粘度用途に対応可能
最大吐出量: 12.0 mL/shot
最高吐出圧力: 0.8 MPa
取扱い液粘度範囲: 100〜10,000 mPa•s |
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フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R
再現性±0.3%（F.S.）以下の高精度
最大吐出量: 5.0 mL/shot
最高吐出圧力: 0.15 MPa
最高取扱い液粘度: 100 mPa•s |
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エアー駆動ピストンポンプ YSPシリーズ
ドラム缶、ペール缶からの引き抜き・圧送に
最大吐出量: 37.6 L/min
最高吐出圧力: 2.1 MPa
主要材質: ステンレス, FKM, PTFE |
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