12月11日(水)~13日(金)に開催された、「SEMICON Japan 2019(セミコン・ジャパン)」に出展いたしました。弊社ブースにお立ち寄り頂いた皆様、ご来場誠にありがとうございました。
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ダンパー不要、ポンプ単体で低脈動吐出を実現したエアー駆動低脈動ベローズポンプFLP型と、弊社従来機エアー駆動ベローズポンプFS型の比較実演を行いました。吐出側の水流の様子や圧力計で、それぞれのポンプの特長をご覧いただきました。

エアー駆動ダイヤフラムポンプ TC型を実演展示いたしました。フッ素樹脂タイプのTCT型は、エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。

他にも、独自のメカニズムで脈動を大幅に軽減した、空気駆動ベローズポンプの大流量モデルや、エアー消費量を大幅に削減したエアー駆動ダイヤフラムポンプを展示いたしました。