エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ

最大吐出量:100 mL/stroke


半導体製造プロセスの
レジスト塗布工程に最適

pneumatic_bellows_sb_01.jpg
SB-SH、SB-TV


各資料のダウンロードはこちら 
エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
についてのお問い合わせ該非判定はこちら

※資料のダウンロードには、会員登録が必要です。 会員登録はこちら

SBシリーズの特長

高精度

フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、サックバック(オプション)を取付けることにより吐出端からのレジストのボタ落ちを防止します。
ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造です。シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能、フォトレジストへの空気混入を防止します。

軽量・コンパクト設計

ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備(SB-4K/5/6を除く)、システム組込みに最適な形状を選択できます。コンパクトなので周辺機器のためのスペースも確保します。
さらに1台のポンプで微妙な吐出量をコントロールするメカニカルストッパー付シリンダー、確実な動作確認ができるセンサー付シリンダーも用意しました。

ステンレス・フッ素樹脂製

接液部材質は、ステンレス(SUS304)タイプとフッ素樹脂(PTFE, PFA)タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジスト等の液質管理も安心です。

 

概略仕様

最大吐出量

100 mL/stroke

最高吐出圧力範囲

0.05〜0.1 MPa

供給エアー圧力範囲

0.15〜0.5 MPa

最大エアー消費量

1.0 NL/stroke

主要材質

SUS304 / PTFE、PFA

液温範囲

20~60℃


エアー駆動ディスペンサーSBシリーズについてのお問い合わせ 最寄りの支店・営業所