フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R

吐出量:5.0 mL/shot

チューブフラムディスペンスポンプ PDS-105R

再現性±0.3%(F.S.)以下。
高精度、コンパクト、低コスト。



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フォトレジストディスペンスポンプPDS-105R
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PDS-105Rの特長

高精度

ステッピングモータ駆動により、再現性±0.3%(F.S.)以下を実現しました。

低コスト

主要部品を成型化して、コストが低減しました。

コンパクト

高さ:260mm(当社従来品:330mm)
幅:50mm(当社従来品:60mm)

コンタミフリー

半導体関連のレジストディスペンス用途において、摺動部・滞留部が無いため、液のゲル化を抑えます。

概略仕様(50/60Hz)

吐出量

5.0 mL/shot

最高吐出速度

0.1~4.0 mL/sec

吸込速度

0.1~3.0 mL/sec

最高吐出圧力

0.15 MPa

繰返し精度

±0.3%以下(F.S.)

最高取扱い液粘度

200 mPa·s

上記仕様は取扱い液の種類、その他の設置条件により異なる場合があります。詳しくはお問い合わせください。

定量ポンプ購入後のよくある質問