フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R

PDS-105Rの特長

大幅な省レジスト

駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少がほとんどなく、高い吐出量精度を維持します。従って塗布量の設定は必要最小限で済み、レジスト液の使用量を大幅に削減できます。

• 吐出精度：±0.3%（F.S.）
• 直線性：±0.5%（F.S.）
• 分解能：0.01mL

コンタミフリー

ポンプ部は内面が平滑でデッドボリュームの少ないチューブフラム構造を採用。レジスト液の滞留部がほとんどなく、パーティクルの発生を防ぎます。

多様なコートプロセスに対応

吐出速度を1ショット内で任意に変えることができるため、微量・短時間塗布など多様なレジストコートプロセスに対応可能です。

ダウンタイムの短縮

内蔵の圧力センサ（オプション）で吐出圧力をモニタリングすることにより、フィルタの交換時期が管理できます。また、吐出量・吐出時間の設定はコントローラへの数値入力のみでOK。オペレータの手間がかからず、ダウンタイムの短縮が図れます。

概略仕様

• 上記仕様は取扱い液の種類、その他の設置条件により異なる場合があります。詳しくはお問合せください。