PDS-105Rの特長

高精度
ステッピングモータ駆動により、再現性±0.3%(F.S.)以下を実現しました。
低コスト
主要部品を成型化して、コストが低減しました。
コンパクト
高さ:260mm(当社従来品:330mm)、幅:50mm(当社従来品:60mm)
コンタミフリー
半導体関連のレジストディスペンス用途において、摺動部・滞留部が無いため、液のゲル化を抑えます。

概略仕様(50/60Hz)

吐出量 5.0 mL/shot
最高吐出速度 0.1 – 4.0 mL/sec
吸込速度 0.1 – 3.0 mL/sec
最高吐出圧力 0.15 MPa
繰返し精度 ±0.3%以下(F.S.)
最高取扱い液粘度 200 mPa·s

上記仕様は取扱い液の種類、その他の設置条件により異なる場合があります。詳しくはお問い合わせください。

フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105Rの活用分野

製品に関する情報

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