フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115

吐出量:12.0 mL/shot

ベローズディスペンスポンプ PDS-H115

LED、MEMSなどの高粘度用途に
対応可能
 

移送液のムダを省き、コストダウン、生産効率アップに貢献するディスペンサです。
高粘度液対応のPDS-H115を新たにラインアップ。
LEDやMEMSデバイス製造に欠かせない高粘度液移送に最適です。


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ディスペンスポンプ PDS-H115
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PDS-H115の特長

再現性±0.5%(F.S.)の高精度

高精度ステッピングモータの採用で、再現性±0.5%(F.S.)以下の高精度移送が可能です。移送液のムダを省き、塗布量のバラツキを抑えます。

圧力センサ搭載の安全設計

圧力センサを標準装備。異常圧力による破損・事故を未然に防ぎます。

LEDやMEMSなどの高粘度用途に

最高10,000mPa·sの高粘度液の取扱いが可能です。
摺動部のない独特な構造で、LEDやMEMSデバイス製造プロセスでの高粘度用途はもちろん、電解液充填用途にも対応可能です。

 

概略仕様(50/60Hz)

吐出量

12.0 mL/shot

吐出速度

0.5~2.0 mL/sec

吸込速度

0.3~2.0 mL/sec

最高吐出圧力

1.0 MPa

繰返し精度

±0.5%以下(F.S.)

取扱い液粘度範囲

100~10,000 mPa·s

上記仕様は取扱い液の種類、その他の設置条件により異なる場合があります。詳しくはお問い合わせください。

定量ポンプ購入後のよくある質問