フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115

PDS-H115の特長

大幅な省レジスト

駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの 目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少が ほとんどなく、高い吐出量精度を維持します。従って塗布量の設定は 必要最小限で済み、レジスト液の使用量を大幅に削減できます。

• 吐出精度：±0.3%（F.S.）
• 分解能：0.01mL

多様なコートプロセスに対応

吐出速度を1ショット内で任意に変えることができるため、微量・短時間塗布など多様なレジストコートプロセスに対応可能です。

ダウンタイムの短縮

内蔵の圧力センサ（オプション）で吐出圧力をモニタリングすることにより、フィルタの交換時期が管理できます。また、吐出量・吐出時間の設定はコントローラへの数値入力のみでOK。オペレータの手間がかからず、ダウンタイムの短縮が図れます。

高粘度用途に対応

最高10,000mPa·sの高粘度液の取扱いが可能です。摺動部のない独特な構造で、LEDやMEMSデバイス製造プロセスでの高粘度用途はもちろん、電解液充填用途にも対応可能です。

概略仕様

• 上記仕様は取扱い液の種類、その他の設置条件により異なる場合があります。詳しくはお問合せください。