PDS-H115の特長

再現性±0.5%(F.S.)の高精度
高精度ステッピングモータの採用で、再現性±0.5%(F.S.)以下の高精度移送が可能です。移送液のムダを省き、塗布量のバラツキを抑えます。
圧力センサ搭載の安全設計
圧力センサを標準装備。異常圧力による破損・事故を未然に防ぎます。
LEDやMEMSなどの高粘度用途に
最高10,000mPa·sの高粘度液の取扱いが可能です。摺動部のない独特な構造で、LEDやMEMSデバイス製造プロセスでの高粘度用途はもちろん、電解液充填用途にも対応可能です。

概略仕様(50/60Hz)

吐出量 12.0 mL/shot
吐出速度 0.5 – 2.0 mL/sec
吸込速度 0.3 – 2.0 mL/sec
最高吐出圧力 1.0 MPa
繰返し精度 ±0.5%以下(F.S.)
取扱い液粘度範囲 100 – 10,000 mPa·s

上記仕様は取扱い液の種類、その他の設置条件により異なる場合があります。詳しくはお問い合わせください。

フォトレジストディスペンスポンプ PDS-H115の活用分野

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