エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ

SBシリーズの特長

高精度

フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、サックバック（オプション）を取り付けることにより吐出端からのレジストのボタ落ちを防止します。
ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造です。シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能、フォトレジストへの空気混入を防止します。

軽量・コンパクト設計

ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備（SB-4K/5/6を除く）、システム組込みに最適な形状を選択できます。コンパクト設計により、周辺機器のためのスペースも確保します。
さらに1台のポンプで微妙な吐出量をコントロールするメカニカルストッパー付シリンダー、確実な動作確認ができるセンサ付シリンダーも用意しました。

ステンレス・フッ素樹脂製

接液部材質は、ステンレス（SUS304）タイプとフッ素樹脂（PTFE, PFA）タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジストなどの液質管理も安心です。

概略仕様