SBシリーズの特長

高精度
フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、サックバック(オプション)を取付けることにより吐出端からのレジストのボタ落ちを防止します。
ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造です。シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能、フォトレジストへの空気混入を防止します。
軽量・コンパクト設計
ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備(SB-4K/5/6を除く)、システム組込みに最適な形状を選択できます。コンパクトなので周辺機器のためのスペースも確保します。
さらに1台のポンプで微妙な吐出量をコントロールするメカニカルストッパー付シリンダー、確実な動作確認ができるセンサ付シリンダーも用意しました。
ステンレス・フッ素樹脂製
接液部材質は、ステンレス(SUS304)タイプとフッ素樹脂(PTFE, PFA)タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジスト等の液質管理も安心です。

概略仕様

最大吐出量 100 mL/stroke
最高吐出圧力範囲 0.05 – 0.1 MPa
供給エアー圧力範囲 0.15 – 0.5 MPa
最大エアー消費量 1.0 NL/stroke
主要材質 SUS304 / PTFE、PFA
液温範囲 20 – 60℃

製品に関する情報

カタログ、資料ダウンロード

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イワキのサポート
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