薬液補充ポンプ CFD

最大吐出量:1 mL/shot

エアー駆動ベローズポンプ CFD

1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上

吐出量を1shot当り1mlとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。またサイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。

接液部はオールフッ素樹脂(PTFE、PFA、PCTFE)で構成されており、半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液に対応できます。また、ポンプ外部は樹脂(PTFE、PFA、PP、PVC)及びPTFEコーティングされたネジを使用することにより、高い耐腐食性構造になっています。

ポンプ下部のカバーを外して、ストローク長の調節が簡単に行なえます。 1shot当り最大2.7mlの吐出が可能です。 (出荷時は、1shot 当り1mlです。)

ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサーを標準装備しました。

薬液補充ポンプCFD