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| 項目 | 流量フィードバック方式 （ポンプ＆システム） |
レシプロ方式※3 （ダイヤフラム式定量ポンプ） |
一軸ネジポンプ式※3 （スクリューポンプ） |
|---|---|---|---|
| ガスロック | 無 | 有 | 無（ステータ摩耗時は有） |
| 脈動 | 無 | ||
| チャンバー | 不要 | 必要 | 不要 |
| 配管 | シンプル※1 | 複雑 | シンプル |
| 定量性 | 有（PFCシステムによる制御） | 有 | 部品摩耗により経時的に低下 |
| 流量レンジ アビリティ |
1：100以上※2 （PFCシステムによる制御） |
1：30 | 1：100 |
| 消耗部品 | 有（ギヤ、ケース等） | 有（バルブ、ダイヤフラム等） | 有（ロータ、ステータ等） |
※1 配管条件あり。詳しくはお問合せください。
※2 要求仕様流量範囲により異なります。
※3 当社方式で比較した場合の値です。
| 注入ポンプ | GM-12JPKV-04FC 吐出量範囲： 3 – 1720mL/min 最高吐出圧力：0.3MPa |
GM-15JKKV-04FC 吐出量範囲： 70 – 2300mL/min 最高吐出圧力：0.2MPa |
GM-15JKKV-04FC-H 吐出量範囲： 10 – 300mL/min 最高吐出圧力：0.5MPa |
|---|---|---|---|
| コントローラ | PFCコントローラ FP | ||
| 流量計 ※ | 電磁流量計 （一体型 フランジタイプ） 電磁流量計 （分離型 フランジタイプ） |
||
| インバータ ※ | FR-A700シリーズ | ||
| 背圧弁 | BV-3NV-15 | BV-3NV-15S | |
| フィルタ/ストレーナ ※ | フィルタ本体: PVC-250-1-VF-G3/4、カートリッジ: 250L-PPX-100/ Y型ストレーナ: MM801 15A 150メッシュ | ||
| 圧力計 ※ | 隔膜式圧力計 | ||
※.上記推奨機器型式以外も対応可能です、別途ご相談ください。
(注) 使用温度範囲：0 – 35℃、詳しくはお問合せください。また、電解次亜のお取り扱いについては、別途ご相談ください。
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