–CFDの特長

分注性能の向上
吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。またサイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。
耐腐食性構造
接液部はオールフッ素樹脂(PTFE、PFA、PCTFE)で構成されており、半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液に対応できます。また、ポンプ外部は樹脂(PTFE、PFA、PP、PVC)及びPTFEコーティングされたネジを使用することにより、高い耐腐食性構造になっています。
幅広い吐出量設定に対応
ポンプ下部のカバーを外して、ストローク長の調節が簡単に行なえます。 1shot当り最大2.7mLの吐出が可能です。 (出荷時は、1shot 当り1mLです。)
リークセンサー標準装備
ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサーを標準装備しました。

概略仕様

最大吐出量 1 mL/shot
最高吐出圧力 0.05 MPa
最大ストローク数 30 spm
主要材質 PTFE、PFA、PCTFE
液温範囲 20 – 60℃

薬液補充ポンプ CFDの活用分野

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