薬液補充ポンプ CFD

CFDの特長

ウエハー洗浄液の濃度管理に

優れた精度で必要最少量の薬液を正確に注入。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。濃度のオーバーシュートを抑え、洗浄液のコストダウンにも貢献します。

優れた耐食性

接液部品は全てフッ素樹脂（PTFE、PFA、PCTFE）で構成され、強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応します。
ポンプ外部は樹脂およびコーティング済みのボルトを使用しています。

安全設計

圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。
サイホン防止機構により、薬液の流出を防ぎます。
CFD-1T-Bは、ベローズ破損を検知するリークセンサを標準装備しています。

幅広い吐出量範囲

柔軟な設定が行える仕様で、幅広い吐出量範囲をカバーします。
工場出荷時はCFD-1T-B：1mL/shot、CFD-8T-B：8ml/shotに設定されています。

概略仕様

注1：工場出荷時の設定です。吐出量は0.4 〜2.7mL/shotの範囲で変更できます。
注2：工場出荷時の設定です。吐出量は7 〜10mL/shotの範囲で変更できます。