エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ

最大吐出量:40 L/min


ウェハー洗浄用
エアー駆動ベローズポンプ

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FA-2、FA-40VEW


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エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
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FAシリーズの特長

中温仕様の2タイプ

横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。

肉厚ベローズ

FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。

センサー駆動方式

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

簡単操作

専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

概略仕様

型式

FA-2

FA-40

最大吐出量

2 L/min

40 L/min

供給エアー圧力範囲

0.2〜0.4 MPa

0.1〜0.4 MPa

最大エアー消費量

50 NL/min

200 NL/min

最大ストローク数

150 spm

80 spm

主要材質

PTFE、PFA

PTFE、PFA

液温範囲

5~100℃

5~100℃