FAシリーズの特長

中温仕様の2タイプ
横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。
肉厚ベローズ
FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。
センサ駆動方式
ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。
簡単操作
専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

概略仕様

型式 FA-2 FA-40
最大吐出量 2 L/min 40 L/min
供給エアー圧力範囲 0.2 – 0.4 MPa 0.1 – 0.4 MPa
最大エアー消費量 50 NL/min 200 NL/min
最大ストローク数 150 spm 80 spm
主要材質 PTFE、PFA
液温範囲 5 – 100℃

エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズの活用分野

製品に関する情報

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