製品に関する情報
- カタログ、資料ダウンロード
-
製品資料データ、カタログ、取扱説明書を会員サイトからダウンロードできます。
- ダウンロード方法については、こちらをご覧ください。
- ※ダウンロードをするには、会員登録が必要です。
- イワキのサポート
- よくあるご質問、各種お問い合わせ、製品メンテンナンス動画など、イワキ製品のサポートについてご紹介します。
横型で少流量モデルのFA-2 型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW 型を標準化。FA-2 型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW 型は 200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。
FA-40VEW 型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。
ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。 また、リークセンサを標準装備しています。
専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。
| 型式 | FA-2 | FA-40 |
|---|---|---|
| 最大吐出量 | 2L/min | 40L/min |
| 供給エアー圧力範囲 | 0.2〜0.4MPa | 0.1〜0.4MPa |
| 最大エアー消費量 | 50NL/min | 200NL/min |
| 最大ストローク数 | 150spm | 80spm |
| 主要材質 | PTFE、PFA | |
| 液温範囲 | 5〜100℃ | |
エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズの活用分野
製品資料データ、カタログ、取扱説明書を会員サイトからダウンロードできます。
ページトップ