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横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は 200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。
FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。
ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。また、リークセンサを標準装備しています。
専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。
| 型式 | FA-2 | FA-40 |
|---|---|---|
| 最大吐出量注 | 2L/min | 40L/min |
| 供給エアー圧力範囲 | 0.2〜0.4MPa | 0.1〜0.4MPa |
| 最大エアー消費量 | 50NL/min | 200NL/min |
| 最大ストローク数 | 150spm | 80spm |
| 主要材質 | PTFE、PFA | |
| 液温範囲 | 5〜100℃ | |
注：最大吐出量は清水20℃の場合による性能です。
エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズの活用分野
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