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最大吐出量:40 L/min ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプFA-2、FA-40VEW
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型式 | FA-2 | FA-40 |
---|---|---|
最大吐出量 | 2 L/min | 40 L/min |
供給エアー圧力範囲 | 0.2 – 0.4 MPa | 0.1 – 0.4 MPa |
最大エアー消費量 | 50 NL/min | 200 NL/min |
最大ストローク数 | 150 spm | 80 spm |
主要材質 | PTFE、PFA | |
液温範囲 | 5 – 100℃ |
エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズの活用分野
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