FF/FF-Hシリーズの特長

省エネ設計
空気室のデッドボリュームを極力小さくして、エアー消費量の低減を図りました。
中温タイプと高温タイプ
FFシリーズは中温仕様(PVCシリンダタイプ:5〜50℃、アルミシリンダタイプ:5〜100℃)、FF-Hシリーズは常温から高温(20〜180℃)までの薬液を幅広く取扱うことができます。
コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、ゴム・金属を使用しないコンタミフリー設計です。また、FF-Hシリーズの本体とベローズは完全に溶接されているため、ヒートサイクルによる液漏れがありません。
安全設計
ポンプ内蔵の近接スイッチで、電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

概略仕様

型式 FF FF-H
最大吐出量 22L/min 40L/min
供給エアー圧力範囲 0.15〜0.3MPa 0.15〜0.2MPa
最大エアー消費量 180NL/min 200NL/min
最大ストローク数 120spm
主要材質 PTFE、PFA
液温範囲 5〜100℃ 20〜180℃

*B型はアルミシリンダー、C型はPVCシリンダーになります。

エアー駆動ベローズポンプ FF/FF-Hシリーズの活用分野

半導体・液晶分野

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