FW/FW-Hシリーズの特長

高圧・長寿命

肉厚ベローズの採用でMax. 0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかも ベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3 〜4倍長寿命。ダウンタイムを 大幅に低減することができます。

中温タイプと高温タイプを用意

高圧・中温(10 〜100℃)仕様のFWシリーズは薬液供給用に加え、洗浄装置・ CMPスラリー液の循環用として、高圧・高温(10 〜180℃)仕様のFW-Hシリーズ は洗浄装置の循環用ポンプとしてご使用いただけます。

コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを 施すなど、金属露出のない設計です。パーティクルの発生が少なく、市販の継手が使用可能です。

近接スイッチ方式

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。 また、リークセンサを標準装備しています。

簡単操作

専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

概略仕様

型式 FW FW-H
最大吐出量 80L/min 40L/min
供給エアー圧力範囲 0.2〜0.5MPa 0.15〜0.5MPa
最大エアー消費量 820NL/min 480NL/min
最大ストローク数 120spm
主要材質 PTFE、PFA
液温範囲 10〜100℃ 10〜180℃

• 最大吐出量は清水20℃の場合による性能です。

製品に関する情報

カタログ、資料ダウンロード

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イワキのサポート
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