エアー駆動ベローズポンプ FW / FW-Hシリーズ

最大吐出量:80 L/min


肉厚ベローズで
Max. 0.45MPaの高圧吐出が可能


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エアー駆動ベローズポンプFW,FW-Hシリーズ
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FW / FW-Hシリーズの特長

高圧・長寿命

肉厚ベローズの採用でMax.0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3〜4倍長寿命。ダウンタイムを大幅に低減することができます。

中温タイプと高温タイプ

高圧・中温(10〜100℃)仕様のFWシリーズは薬液供給用に加え、洗浄装置・CMPスラリー液の循環用として、高圧・高温(10〜180℃)仕様のFW-Hシリーズは洗浄装置の循環用ポンプとしてご使用いただけます。

コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。パーティクルの発生が少なく、市販の継手が使用可能です。

安全設計

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

概略仕様

型式

FW

FW-H

最大吐出量

80 L/min

40 L/min

供給エアー圧力範囲

0.2〜0.5 MPa

0.15〜0.5 MPa

最大エアー消費量

820 NL/min

480 NL/min

最大ストローク数

80 spm

80 spm

主要材質

PTFE、PFA

PTFE、PFA

液温範囲

10~100℃

10~180℃