FW/FW-Hシリーズの特長

高圧・長寿命
肉厚ベローズの採用でMax.0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3 – 4倍長寿命。ダウンタイムを大幅に低減することができます。
中温タイプと高温タイプ
高圧・中温(10 – 100℃)仕様のFWシリーズは薬液供給用に加え、洗浄装置・CMPスラリー液の循環用として、高圧・高温(10 – 180℃)仕様のFW-Hシリーズは洗浄装置の循環用ポンプとしてご使用いただけます。
コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。パーティクルの発生が少なく、市販の継手が使用可能です。
安全設計
ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

概略仕様

型式 FW FW-H
最大吐出量 80 L/min 40 L/min
供給エアー圧力範囲 0.2 – 0.5 MPa 0.15 – 0.5 MPa
最大エアー消費量 820 NL/min 480 NL/min
最大ストローク数 80 spm
主要材質 PTFE、PFA
液温範囲 10 – 100℃ 10 – 180℃

エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズの活用分野

製品に関する情報

カタログ、資料ダウンロード

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イワキのサポート
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