エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ | ケミカルポンプと流体制御機器のイワキ [製品サイト]

FW/FW-Hシリーズの特長

肉厚ベローズの採用でMax. 0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3 〜4倍長寿命。ダウンタイムを大幅に低減することができます。

高圧・中温（10 〜100℃）仕様のFWシリーズは薬液供給用に加え、洗浄装置・ CMPスラリー液の循環用として、高圧・高温（10 〜180℃）仕様のFW-Hシリーズは洗浄装置の循環用ポンプとしてご使用いただけます。

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。パーティクルの発生が少なく、市販の継手が使用可能です。

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。また、リークセンサを標準装備しています。

専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

注：最大吐出量は清水20℃の場合による性能です。

ナノリンクシステム

新しい薬液配管接続技術

「ナノリンクシステム（Nano Link System 通称：ナノリンク）」は、シールリングを挟み、クランプするだけのシンプルな薬液配管です。基本パーツは、シールリング、ナノリンクボディ、クランプの3つだけ。これまでにない安全性や省スペース化に貢献します。

対応機種：FS-15/30/60/80、FW-20/40/80、PDA-20/40/80WB

エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズの活用分野

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