エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ

最大吐出量:55 L/min


高速ストローク化で
小型・軽量・ローコスト化を実現


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エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ
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FS-Hシリーズの特長

高速ストローク

ポンプストロークの高速化(Max. 240spm)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。

コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシール(PAT.)の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

幅広い液温範囲・高圧吐出

取扱い液の液温範囲は5〜180℃、吐出圧力はMax.0.45MPaまで可能。洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスまで使用することができます。

ダウンタイムを短縮

近接スイッチはポンプを分解することなく交換でき、スタッドボルトの定期的増締めも不要なためダウンタイムの短縮化が図れます。

簡単操作

ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。確実に作動するため、各種コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

 

概略仕様

最大吐出量

55 L/min

供給エアー圧力範囲

0.15〜0.5 MPa

最大エアー消費量

670 NL/min

最大ストローク数

240 spm

主要材質

PTFE、PFA

液温範囲

5~180℃