エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ | ケミカルポンプと流体制御機器のイワキ [製品サイト]

FS-Hシリーズの特長

小型・軽量・ローコスト化

ポンプストロークの高速化（Max.240spm^注）により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。

注：ストローク数は機種により異なります。

コンタミフリー設計

接液部にはすべてフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシールの採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

幅広い液温範囲・高圧吐出

取扱い液の液温範囲は5〜180℃、吐出圧力はMax.0.45MPaまで可能。洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスまで使用することができます。

近接スイッチ方式

ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

簡単操作

専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

概略仕様

最大吐出量	55L/min
供給エアー圧力範囲	0.15〜0.5MPa
最大エアー消費量	670NL/min
最大ポンプストローク数^注	240spm
主要材質	PTFE、PFA
液温範囲	5〜180℃

注：供給エアー圧力が0.3〜0.5MPa時には、Max. 180spmとなります。
• 最大吐出量は清水20℃の場合による性能です。

オプション

パルスダンパー PD-H（ウェット用）

• コンパクトで低コストのウエット専用ダンパーです。
• ベローズ内の液抜きが容易な構造です。
• リークセンサを標準装備しています。

オートダンパーPDA-WB/W

• 自動調圧機構が内蔵されたダンパーです。
• ベローズ内部の液抜きが簡単に行えます。
• リークセンサを標準装備しています。

急速排気弁 QEV

• ポンプと電磁弁の間に取付けることで、リターンエアーによる電磁弁の腐食を防ぎます。
• 排気抵抗を減らしベローズの動きをスムーズにします。

ポンプコントローラ FDC-1

• 電空レギュレータ（オプション）と接続することによりポンプの吐出量を一定に制御することができるため、フィルタの目詰まりなどで吐出負荷が変動しても安定した循環・ろ過が行えます。
• 流量・ストローク数・トータルカウントがモニタリングできます。
• リークアラーム・ポンプ動作不良アラームなどの各種アラーム表示及び出力機能を備えています

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