エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ | ケミカルポンプと流体制御機器のイワキ [製品サイト]

FS-Hシリーズの特長

コンタミフリー: 接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシール（PAT.）の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

幅広い液温範囲・高圧吐出: 取扱い液の液温範囲は5 – 180℃、吐出圧力はMax.0.45MPaまで可能。洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスまで使用することができます。

簡単操作: ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。確実に作動するため、各種コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズの活用分野

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