エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2

最大吐出量:100 L/min

CARO(SPM)やH3PO4等の高温移送が必要な薬液に対応
Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能

エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2


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エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2
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FS-100HT2の特長

高温大流量移送

Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。CARO(SPM)やH3PO4等の高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上(55L/min→100L/min)が見込めます。

洗浄効率の向上

循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液移送が可能です。

約15%の重量低減

部品形状を最適化することにより、当社従来製品(80〜100L/minクラス)の重量に対して、約15%の重量低減を可能としました。 ポンプ設置、交換時の作業者負担を軽減できます。

概略仕様

最大吐出量

100 L/min

供給エアー圧力範囲

0.15〜0.5 MPa

最大エアー消費量

1210 NL/min

最大ストローク数

120 spm

主要材質

PTFE、PFA

液温範囲

10~180˚C