エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 | ケミカルポンプと流体制御機器のイワキ [製品サイト]

FS-100HT2の特長

Max. 180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。CARO（SPM）やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上（55L/min→100L/min）が見込めます。

循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液移送が可能です。

部品形状を最適化することにより、当社従来製品（80 〜100L/min クラス）の重量に対して、約15％の重量低減を可能としました。ポンプ設置、交換時の作業者負担を軽減できます。

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。また、リークセンサを標準装備しています。

専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

• 最大吐出量は清水20℃の場合による性能です。

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