エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 | ケミカルポンプと流体制御機器のイワキ [製品サイト]

FS-100HT2の特長

高温大流量移送: Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。CARO(SPM)やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上(55L/min→100L/min)が見込めます。

洗浄効率の向上: 循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

コンタミフリー: 接液部にはすべてフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。

約15％の重量低減: 部品形状を最適化することにより、当社従来製品（80〜100L/minクラス）の重量に対して、約15％の重量低減を可能としました。ポンプ設置、交換時の作業者負担を軽減できます。

エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2の活用分野

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