FS-100HT2の特長

高温大流量移送
Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。CARO(SPM)やH3PO4等の高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上(55L/min→100L/min)が見込めます。
洗浄効率の向上
循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による洗浄時間の増加を抑えることが可能です。
コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液移送が可能です。
約15%の重量低減
部品形状を最適化することにより、当社従来製品(80 – 100L/minクラス)の重量に対して、約15%の重量低減を可能としました。 ポンプ設置、交換時の作業者負担を軽減できます。

概略仕様

最大吐出量 100 L/min
供給エアー圧力範囲 0.15 – 0.5 MPa
最大エアー消費量 1210 NL/min
最大ストローク数 120 spm
主要材質 PTFE、PFA
液温範囲 10 – 180˚C

製品に関する情報

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