エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ

最大吐出量:100 L/min


Max. 100L/min
薬液供給用の大流量モデル

エアー駆動ベローズポンプ FS-100NF


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エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ
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FS-Nシリーズの特長

高速ストローク

高速ストローク(Max.200spm:FS-80NT型)で小型・軽量・ローコスト化を実現しています。

コンタミフリー設計

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシール(FS-80NT型…PAT.)の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

大流量/高圧吐出

供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。

センサー駆動方式

ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサー駆動方式を採用。確実に作動するため、各種コントローラーに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

概略仕様

最大吐出量

100 L/min

供給エアー圧力範囲

0.2〜0.7 MPa

最大エアー消費量

1495 NL/min

最大ストローク数

200 spm (FS-80N)

主要材質

PTFE、PFA

液温範囲

5~60℃