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高圧（0.6MPa 以上）・大流量吐出が必要な薬液供給プロセスに最適です。
• FS-80NT 型：Max.80L/min、 FS-100NF 型：Max.100L/min
高速ストローク（Max. 200spm：FS-80NT型）で小型・軽量・ローコスト化を実現しています。
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを 施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシール （FS- 80NT型）の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。
ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。 また、リークセンサを標準装備しています
ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。
| 最大吐出量 | 100L/min |
|---|---|
| 供給エアー圧力範囲 | 0.2〜0.7MPa |
| 最大エアー消費量 | 1495NL/min |
| 最大ストローク数 | 200spm（FS-80N） |
| 主要材質 | PTFE、PFA |
| 液温範囲 | 5〜60℃ |
• 最大吐出量は清水20℃の場合による性能です。
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