FS-Nシリーズの特長

高速ストローク
高速ストローク(Max.200spm:FS-80NT型)で小型・軽量・ローコスト化を実現しています。
コンタミフリー設計
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシール(FS-80NT型…PAT.)の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。
大流量/高圧吐出
供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。
センサ駆動方式
ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。確実に作動するため、各種コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

概略仕様

最大吐出量 100 L/min
供給エアー圧力範囲 0.2 – 0.7 MPa
最大エアー消費量 1495 NL/min
最大ストローク数 200 spm (FS-80N)
主要材質 PTFE、PFA
液温範囲 5 – 60℃

製品に関する情報

カタログ、資料ダウンロード

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イワキのサポート
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