TCシリーズ(フッ素樹脂タイプ)の特長

半導体専用設計

TCT型は、半導体用に設計されたフッ素樹脂製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。

エアー消費を大幅削減

エアー室の構造変更により、従来機種に比べエアー消費を大幅に削減しました。高吐出圧力運転時において、エアー消費を最大50%削減できます。

• 最大吐出量付近のデータ比較となり、機種、移送する液体、配管により異なります。

高圧吐出・圧力制御が容易

Max.0.7MPa(一部0.85MPa)の高圧吐出が可能です。また吐出圧力は供給エアー圧力に比例するため、エアーレギュレータの調整で容易に制御することができます。

防爆対策は不要

圧縮エアーで駆動するため、特別な防爆対策は不要です。またオーバーロードによる発熱もないため、防爆エリアでも使用可能です。心臓部のエアー切換方式は、新開発のループドCスプール®と新メカニカル方式の採用により、作動性能が向上しました。

• 機種によりエアー切換方式は異なります。

ループドCスプール® (PAT. PEND.)

ループドCスプールは、独自構造のループドCスプリングを採用しており、従来のC型スプリングよりバネを長くすることで、耐久性を向上し、中間停止軽減効果が大きくなりました。また、スプール本体には軽量なアルミ材質を採用。これらの効果をより大きくしています。

概略仕様

最大吐出量範囲 11〜150L/min
最高吐出圧力範囲 0.5〜0.7MPa
最大エアー消費量範囲 170〜1500NL/min (ANR)
供給エアー圧力範囲 0.2〜0.7MPa
主要材質 PTFE(ダイヤフラム、ボールバルブ、バルブシート)
液温範囲 0〜80℃(機種により異なります。)
粘性液 2500mPa·s(詳細はお問合せください。)
スラリー液 詳細はお問合せください。
シール方式 シールレス

製品に関する情報

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