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最大吐出量範囲:11〜150L/min 半導体プロセス専用設計洗浄液循環・CMPスラリー液移送・高純度薬液供給ポンプ
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最大吐出量範囲 | 11〜150L/min |
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最高吐出圧力範囲 | 0.5〜0.7MPa |
最大エアー消費量範囲 | 170〜1500NL/min (ANR) |
供給エアー圧力範囲 | 0.2〜0.7MPa |
主要材質 | PTFE(ダイヤフラム、ボールバルブ、バルブシート) |
液温範囲 | 0〜80℃(機種により異なります。) |
粘性液 | 2500mPa·s(詳細はお問合せください。) |
スラリー液 | 詳細はお問合せください。 |
シール方式 | シールレス |
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