TCシリーズ(フッ素樹脂タイプ)の特長

半導体専用設計
TCT型は、半導体用に設計されたフッ素樹脂製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。
エアー消費を大幅削減
エアー室の構造変更により、従来機種に比べエアー消費を大幅に削減しました。高吐出圧力運転時において、エアー消費を最大50%削減できます。
• 最大吐出量付近のデータ比較となり、機種、移送する液体、配管により異なります。
Max. 0.7MPa の高圧吐出
Max.0.7MPaの高圧吐出が可能です(一部機種)。また吐出圧力は供給エアー圧力に比例するため、エアーレギュレータの調整で容易に制御することができます。
作動安定性が向上
エアー切換方式はスプール式と電気式です。独自構造のループドCスプール®を採用し、作動安定性が大幅に向上されています。
防爆対策は不要
圧縮エアーで駆動するため、特別な防爆対策は不要です。またオーバーロードによる発熱もないため、防爆エリアでも使用可能です。
完全自吸式
完全自吸式で呼び水は不要です。また空運転やエアー混入液の移送も可能です。

ループドCスプール® (PAT. PEND.)

ループドCスプールは、独自構造のループドCスプリングを採用しており、従来のC型スプリングよりバネを長くすることで、耐久性を向上し、中間停止軽減効果が大きくなりました。

概略仕様

最大吐出量範囲 11 – 150 L/min
最高吐出圧力範囲 0.5 – 0.7 MPa
最大エアー消費量範囲 170 – 1500 NL/min
供給エアー圧力範囲 0.2 – 0.7 MPa
主要材質 PTFE(ダイアフラム、ボールバルブ、バルブシート)
液温範囲 0 – 80 ℃(機種により異なります。)
粘性液 2500 mPa·s(詳細はお問合せください。)
スラリー液 詳細はお問合せください。
シール方式 シールレス

製品に関する情報

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