エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCシリーズ（フッ素樹脂タイプ）

TCシリーズ（フッ素樹脂タイプ）の特長

半導体専用設計

TCT型は、半導体用に設計されたフッ素樹脂製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。

エアー消費を大幅削減

エアー室の構造変更により、従来機種に比べエアー消費を大幅に削減しました。高吐出圧力運転時において、エアー消費を最大50%削減できます。

• 最大吐出量付近のデータ比較となり、機種、移送する液体、配管により異なります。

高圧吐出・圧力制御が容易

Max.0.7MPa（一部0.85MPa）の高圧吐出が可能です。また吐出圧力は供給エアー圧力に比例するため、エアーレギュレータの調整で容易に制御することができます。

防爆対策は不要

圧縮エアーで駆動するため、特別な防爆対策は不要です。またオーバーロードによる発熱もないため、防爆エリアでも使用可能です。心臓部のエアー切換方式は、新開発のループドCスプールと新メカニカル方式の採用により、作動性能が向上しました。

• 機種によりエアー切換方式は異なります。

ループドCスプール

ループドCスプールは、独自構造のループドCスプリングを採用しており、従来のC型スプリングよりバネを長くすることで、耐久性を向上し、中間停止軽減効果が大きくなりました。また、スプール本体には軽量なアルミ材質を採用。これらの効果をより大きくしています。

概略仕様