こんなところにイワキです | Vol.17 - 「半導体」の製造ライン（ウェハー加工）で活躍するポンプ -

このコーナーでは、イワキポンプの技術力が支える様々なジャンルを紹介していきます。じつは、イワキの製品が使われている分野は意外なほどに広いんです。

IT技術の進化で、私たちの生活は驚くほど便利になりました。自動車、スマートフォン、パソコン、デジタル家電・・・どれも私たちの生活になくてはならないモノたちですが、それらの製品において、大事な部分を担っているのが「半導体」です。

これまでも半導体はあらゆる分野で産業を支えてきましたが、今や半導体がなければ、現代社会の生活は考えられない状況になっていると言ってもいいほどです。じつは、その半導体を作る工程で、イワキのポンプが使われているのをご存知ですか？

というわけで、今回は「半導体」の製造ラインで働く、ポンプにスポットを当ててみたいと思います(^O^)／

半導体は、多くの製造工程を経て、「完成品」として出荷されています。大まかに工程を説明すると、回路設計→フォトマスク制作→ウエハー調達→ウエハー加工（前工程）→組立て・検査（後工程）と続いていきます。

半導体の大まかな製造工程

そのウエハー加工（前工程）の中に、ウエハーを薬品や純水で洗浄する工程（洗浄・エッチング）があります。そこで「空気駆動ベローズポンプ」が使用されているのです。

ウエハー加工の基本工程

洗浄工程で使用されるポンプ

ウエハー加工で使用するポンプに求められる条件として・・・

薬品を送る接液部分には、金属イオンを溶出させることはできないので、金属を使用することができない。
ピュアなテフロンを使用することを求められる。
細かなゴミを嫌うために、渦巻きポンプのような軸受構造を採用することができない。
180℃の超高温対応が求められる。

などが挙げられます。

そのためウエハー加工には、一般的には空気駆動でベローズ構造の往復動ポンプが採用されており、イワキの製品では「エアー駆動ベローズポンプ」がそれにあたります。まさかスマホやタブレットを使いながら、「ポンプ」のことを連想する方はいないと思いますが(笑)、われわれのポンプが、少しでも快適な社会をつくるために、陰ながらがんばっているのは嬉しい限りです(*^^)v