出展レポート
出展レポート
2023年12月13日（水）～15日（金）に東京ビッグサイトで開催された「SEMICON Japan 2023」に出展いたしました。 弊社ブースにお立ち寄りいただいた皆様、ご来場誠にありがとうございました。
会期中の説明でご不明な点などございましたら、お気軽にメールサポートまでお問い合わせください。
ダンパー不要、ポンプ単体で低脈動吐出を実現したエアー駆動低脈動ベローズポンプFLPシリーズの実演を行いました。
高圧・大流量吐出が必要な薬液供給プロセス用 Max. 100L/min の大流量エアー駆動ベローズポンプFS-Nシリーズを展示しました。薬液供給プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスにも使用できます。
ウェハー洗浄液の濃度管理を高精度に行える薬液補充ポンプCFD。レジスト液の無駄、塗布量のバラツキ、コンタミの滞留などの問題点を解決するフォトレジストディスペンスポンプPDSを展示しました。
エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCシリーズを実演展示しました。
フッ素樹脂タイプのTCTは、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広く使用できます。
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