SEMICON Japan 2021レポート

12月15日（水）～17日（金）に開催された「SEMICON Japan 2021」に出展いたしました。弊社ブースにお立ち寄りいただいた皆様、ご来場誠にありがとうございました。
会期中の説明でご不明な点などございましたら、メールサポートよりお問い合わせください。

ダンパー不要、ポンプ単体で低脈動吐出を実現したエアー駆動低脈動ベローズポンプFLPシリーズと、弊社従来機エアー駆動ベローズポンプFS-Hシリーズの比較実演を行いました。吐出側の水流の様子や圧力計によって、それぞれのポンプの特長をご覧いただきました。

高圧・大流量吐出が必要な薬液供給プロセス用 Max. 100L/min の大流量エアー駆動ベローズポンプFS-Nシリーズを展示いたしました。薬液供給プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスにもご使用いただけます。

ウェハー洗浄液の濃度管理を高精度に行える薬液補充ポンプCFDや、レジスト液の無駄、塗布量のバラツキ、コンタミ・気泡の滞留などの、従来のフォトレジストコートプロセスにおける問題点を解決するフォトレジストディスペンスポンプPDSを展示いたしました。

エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCシリーズを実演展示いたしました。フッ素樹脂タイプのTCTは、エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。

イワキブース　SEMICON Japan 2021

概要