SEMICON Japan 2024レポート

2024年12月11日（水）から13日（金）までの3日間、東京ビッグサイトで開催された「SEMICON Japan 2024」に出展いたしました。弊社ブースにお立ち寄りいただいた皆様、ご来場誠にありがとうございました。

出展製品のご紹介

今回の展示会では、以下の製品を中心にご紹介いたしました。

エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLP

ダンパー不要で低脈動吐出を実現するエアー駆動低脈動ベローズポンプFLPの実演を行いました。

エアー駆動ベローズポンプ FS-H

高速ストロークで小型・軽量・ローコスト化を実現したエアー駆動ベローズポンプFS-Hを展示しました。洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスまで使用することができます。

エアー駆動ダイヤフラムポンプ TC

フッ素樹脂タイプのエアー駆動ダイヤフラムポンプTCを実演展示しました。洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広く使用できます。

リニアポンプ LR

新製品として、パイロットプラントやテスト環境での送液に最適なリニアポンプLRを実演展示しました。

マグレブポンプ MJ-100

マグレブポンプMJ-100を展示しました。ウェハー研磨工程のCMPスラリー移送にも適しています。

展示会の様子

会期中、多くのお客様にご来場いただき、製品に関する貴重なご意見やご質問を頂戴しました。どの製品にも高い関心が寄せられ、実演を通じてその性能を直接ご確認いただくことができました。

また、展示会の様子を収めた動画も公開しております。ぜひご覧ください。