弊社は12月9日（水）より東京ビッグサイトにて開催される「SEMICON Japan 2026」に出展いたします。
ブースでは、半導体製造プロセスにおける超クリーン化と省エネ化にお応えする、各種ポンプの実演・展示を行います。
ご多用中とは存じますが、弊社ブースにぜひお越しくださいますようお願い申し上げます。

出展製品

ダンパー不要で低脈動・省スペース
エアー消費量も削減

コンタミフリー設計
高温・高圧で薬液供給

薬液供給から装置搭載まで
CMPスラリーにも対応

優れた定量性と送液精度
無脈動で連続送液

非接触構造が実現する
長寿命でクリーンな送液

洗浄液の濃度管理を
高精度にサポート

レジスト使用量を削減
安定した塗布品質を実現

概要

展示会名 SEMICON Japan 2026
会期 2026年12月9日（水）～ 11日（金）
開場時間 10:00～17:00
会場 東京ビッグサイト、有明セントラルタワーホール&カンファレンス、TFTビル
弊社ブース E1401（東1ホール）
SEMICON Japan
オフィシャルサイト		 https://www.semiconjapan.org/
• ご来場には、事前に上記オフィシャルサイトでの来場登録と、バッジの印刷が必要です。

過去の出展レポート

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