半導体製造プロセス専用設計のエアー駆動ベローズポンプ。発売以来20有余年、イワキは常に市場ニーズにお応えして、新製品開発を積極的に展開してきました。その品質と性能は世界のデバイス・ウェハーメーカーより高い評価をいただいています。
また、ポンプのみならずコントローラ・ダンパーなどの周辺機器や薬液補充ポンプシステムも標準化。一段と充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロセスをはじめ、薬液供給装置やCMPプロセスなどに幅広く対応します。

空気駆動ベローズポンプの特長

  • ベローズは独自の設計により長寿命
  • 全ての接液部に耐薬品性・耐熱性に優れたフッ素樹脂を採用したコンタミフリー設計
  • ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液洩れの心配がありません。
主要用途
  • 洗浄設備への薬液供給
  • ウェハー洗浄液の循環
  • CMPスラリー液の供給
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