エアー駆動ベローズポンプ

半導体製造プロセスで多くの実績がある超クリーン仕様。
独自に開発したベローズは長寿命で、ダウンタイムの低減に貢献します。

エアー駆動ベローズポンプ FSシリーズ

半導体製造プロセス専用設計のエアー駆動ベローズポンプ。発売以来20有余年、イワキは常に市場ニーズにお応えして、新製品開発を積極的に展開してきました。その品質と性能は世界のデバイス・ウェハーメーカーより高い評価をいただいています。
また、ポンプのみならずコントローラ・ダンパーなどの周辺機器や薬液補充ポンプシステムも標準化。一段と充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロセスをはじめ、薬液供給装置やCMPプロセスなどに幅広く対応します。

エアー駆動ベローズポンプ最大吐出量

エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ エアー駆動
低脈動ベローズポンプ
FLPシリーズ
エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FS-Nシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 エアー駆動
ベローズポンプ
FS-100HT2
エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FS-Hシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FW/FW-Hシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FF/FF-Hシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FF/FF-Hシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FF/FF-Hシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FAシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ 仕様
エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ エアー駆動
ディスペンサー
SBシリーズ
エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ 仕様
薬液補充ポンプ CFD 薬液補充ポンプ
CFD
薬液補充ポンプ CFD 仕様

エアー駆動ベローズポンプの概要

特長

  • ベローズは独自の設計により長寿命
  • 全ての接液部に耐薬品性・耐熱性に優れたフッ素樹脂を採用したコンタミフリー設計
  • ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液洩れの心配がありません。

用途例

  • 洗浄設備への薬液供給
  • ウェハー洗浄液の循環
  • CMPスラリー液の供給