空気駆動ポンプ

エアー駆動ベローズポンプは半導体製造プロセスで多くの実績があるハイグレードシリーズ。
エアー駆動ダイヤフラムポンプは一般工業用から半導体製造用まで幅広く用意しています。

エアー駆動ベローズポンプ FSシリーズ

イワキのエアー駆動ベローズポンプは、半導体製造プロセス専用設計です。発売以来20有余年、イワキは常に市場ニーズにお応えして、新製品開発を積極的に展開してきました。その品質と性能はデバイス・ウェハーメーカーより高い評価をいただいています。

空気駆動ポンプの特長

  • 液洩れのないシールレス構造です。
  • 自吸能力があるので呼び水が不要です。
  • エアー混入液の移送が可能。
  • 防爆対策は不要。
  • 環境に配慮した無給油運転が可能です。

主要用途

  • 半導体製造プロセス
  • 化学工業プロセス
  • 一般工業プロセス

ポンプ制御事例

イワキの空気駆動ポンプは様々な分野のニーズに対応しています。ビフォーアフター形式で制御事例をご紹介します。

最大吐出量範囲別の製品ラインナップ

エアー駆動ベローズポンプ

半導体製造プロセスで多くの実績がある超クリーン仕様。
独自に開発したベローズは長寿命で、ダウンタイムの低減に貢献します。

エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ エアー駆動
低脈動ベローズポンプ
FLPシリーズ
エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FS-Nシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 エアー駆動
ベローズポンプ
FS-100HT2
エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FS-Hシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FW/FW-Hシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FF/FF-Hシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FF/FF-Hシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FF/FF-Hシリーズ 仕様
エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ エアー駆動
ベローズポンプ
FAシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ 仕様
エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ エアー駆動
ディスペンサー
SBシリーズ
エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ 仕様
薬液補充ポンプ CFD 薬液補充ポンプ
CFD
薬液補充ポンプ CFD 仕様

エアー駆動ダイヤフラムポンプ

金属タイプと樹脂タイプを用意したワイドバリエーション。
省エネ設計で低価格を実現しています。

エアー駆動ダイヤフラムポンプTCシリーズ(金属タイプ) 金属製 エアー駆動
ダイヤフラムポンプ
TCシリーズ
エアー駆動ダイヤフラムポンプTCシリーズ(金属タイプ)仕様
エアー駆動ダイヤフラムポンプTCシリーズ(樹脂タイプ) 樹脂製 エアー駆動
ダイヤフラムポンプ
TCシリーズ
エアー駆動ダイヤフラムポンプTCシリーズ(樹脂タイプ)仕様
エアー駆動ダイヤフラムポンプTCシリーズ(フッ素樹脂タイプ) フッ素樹脂製 エアー駆動
ダイヤフラムポンプ
TCシリーズ
エアー駆動ダイヤフラムポンプTCシリーズ(フッ素樹脂タイプ)仕様
 


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